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電子芯片制造、半導體晶圓加工、液晶顯示(LCD/OLED)等生產(chǎn)過程中,需使用超純水(電阻率≥18.2 MΩ?cm,TOC≤5 ppb),原水中的鐵錳離子若未徹底去除,會導致:
半導體元件表面污染,影響電路性能和成品率;
腐蝕反滲透(RO)膜或離子交換樹脂,縮短設備壽命。
處理工藝:原水→錳砂過濾(除鐵錳)→超濾(UF)→RO 反滲透→EDI 電去離子→紫外線殺菌→超純水
錳砂作為預處理環(huán)節(jié),優(yōu)先去除鐵錳離子,避免其對后續(xù)精密膜組件和樹脂造成 “中毒”(如鐵離子不可逆吸附在樹脂表面)。
美國 SEMI 標準(如 SEMI E1.3)要求工藝用水中鐵≤0.5 μg/L、錳≤0.2 μg/L,錳砂過濾是實現(xiàn)該目標的基礎步驟之一。
應用場景:
煉油廠、化工廠排放的廢水中常含有乳化油、溶解油及鐵錳離子,若直接進入生化處理系統(tǒng),鐵錳會催化油品氧化,降低微生物活性。
經(jīng)隔油、氣浮處理后的廢水,需通過錳砂過濾進一步去除溶解性鐵錳(如 Fe2?因絡合作用難以沉淀),為后續(xù)生化或回用創(chuàng)造條件。
處理目標:
鐵≤2 mg/L,錳≤1 mg/L,同時降低油含量(≤5 mg/L),滿足《石油化學工業(yè)污染物排放標準》(GB 31571-2015)。
石化裝置(如反應塔、換熱器)的循環(huán)冷卻水因蒸發(fā)濃縮,鐵錳離子濃度可升高 3~5 倍,易形成鐵錳氧化物黏泥,堵塞換熱管道并誘發(fā)垢下腐蝕。
解決方案:
采用錳砂旁濾裝置(過濾流量為循環(huán)水量的 5%~10%),持續(xù)去除懸浮物、鐵錳氧化物及菌藻代謝產(chǎn)物,減少系統(tǒng)整體濁度和鐵錳負荷。
機械加工中使用的切削液(乳化液、半合成切削液)因接觸金屬工件,易混入鐵屑、錳離子及微生物,導致液體變質發(fā)臭,需再生回用或無害化處理。
處理工藝:廢切削液→離心除雜→錳砂過濾(吸附鐵錳離子)→膜分離(去除油和有機物)→再生液回用
錳砂的吸附作用可降低切削液中的金屬離子濃度,延緩細菌繁殖,延長液體使用壽命。
先通過錳砂過濾去除低價鐵錳離子(Fe2?、Mn2?),再通過化學沉淀去除高價金屬離子。
金屬電鍍、陽極氧化等表面處理工序中,廢水中含有Fe2?/Fe3?、Mn2?及重金屬離子(如鎳、鉻),需分步去除:
滿足《電鍍污染物排放標準》(GB 21900-2008),鐵≤3 mg/L,錳≤2 mg/L,同時為重金屬回收創(chuàng)造條件。
紙漿顏色加深(產(chǎn)生 “鐵斑”“錳斑”);
腐蝕造紙設備(如蒸球、管道)。
造紙行業(yè)的制漿工藝(如硫酸鹽法、亞硫酸鹽法)對水質要求較高,原水中的鐵錳離子會與木質素反應,導致:
處理方案:
采用錳砂過濾 + 活性炭吸附組合工藝,去除鐵錳離子及有機物,保障紙漿白度和設備安全。
印染廢水中的 ** 染料分子(如活性染料、酸性染料)** 常與鐵錳離子形成絡合物,導致傳統(tǒng)生化處理難以脫色。
錳砂濾料的催化氧化作用可破壞部分染料結構,同時吸附鐵錳絡合物,提高后續(xù)脫色工藝(如臭氧氧化、芬頓反應)效率。
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